薄膜厚度测量仪ST系列
ST2000简介
产品型号/规格
The advantage of infinity - corrected optics Optics solve the problem of coma aberration by using a new tube lens 
Stage Size: 150 x 120mm(70 x 50mm Travel Distance)
Measurement Range: 200Å~ 35μ m(Depends on Film Type)
Spot size: 20μm Typically
Measurement Speed: 1 sec/site Typically

Application Areas:
*Polymers : PVA, PET, PP, PR ...
*Dielectrics : SiO2, TiO2, ITO, ZrO2, Si3N4 ..
*Semiconductors : Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS...
*Supporting up to 3 Layers

*Supporting Backside Reflection
 
优点： 
1) 因为是利用光的方式，所以是非接触式，非破坏式，不会影响实验样品。
2) 可获得薄膜的厚度和 n,k 数据。 
   
3) 测量迅速正确，且不必为测量而破坏或加工实验样品。 

4) 可测量 3层以内的多层膜。

5) 根据用途可自由选择手动型或自动型。 

6) 产品款式多样，而且也可以根据顾客的要求设计产品。
7)可测量 Wafer/LCD 上的膜厚度 (Stage size 3“ 8)Table Top型, 适用于大学,研究室等
如需了解其余型号，或有兴趣者，可以提供样品，我们将帮助你免费测试


技术参数

活动范围 ：370mm x 470 mm~
测量范围 ：100Å~ 35㎛
光斑尺寸 ：40㎛/20㎛, 4㎛(option)
测量速度 ：1~2 sec./site (fitting time)
应用领域 ：1）聚合体: PVA, PET, PP, PR

2）电解质: SiO2, TiO2, ITO, ZrO2, Si3N4 ...

3）半导体: Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS...

4）显示 : PR, ITO, SiO2, TiO2, ZrO2, SixNx